掺杂气发生装置
摘要:
本发明涉及一种为离子迁移谱仪提供反应气的掺杂气发生装置,包括:掺杂罐;进气管,所述进气管的进口端与载气气路的上游侧连接,其出口端与掺杂罐连接;出气管,所述出气管的进口端与掺杂罐连接,其出口端与载气气路的下游侧连接;掺杂气发生单元,其用于释放掺杂剂气体,其中掺杂气发生单元置于所述掺杂罐中;所述掺杂罐的下端设置有可拆卸地连接到掺杂罐上的底盖,所述底盖上设置有固定所述掺杂气发生单元的支架。通过将用于释放掺杂气体的掺杂气发生单元置于所述掺杂罐中,本发明的掺杂气不仅可用固态掺杂剂,也可以用于液态掺杂剂。
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