发明授权
摘要:
本发明涉及一种用于真空蒸发源的喷射器,该喷射器包括喷射管(1),所述喷射管具有纵轴(11)并包括能够连接至真空蒸发源的入口(2)、以及用于扩散已蒸发物质的至少一个喷嘴(3),所述喷嘴(3)具有侧面(4)以及上部面(5)。根据本发明,所述喷嘴(3)包括在所述喷射管(1)外部显现的主通道(6)和将喷射管(1)的内部连接至所述主通道(6)的至少一个侧部进给通道(7),所述侧部进给通道(7)具有侧部孔口(8),所述侧部孔口通过所述喷嘴(3)的侧面(4)在所述喷射管(1)的内部显现,以避免所述喷嘴(3)被氧化物质堵塞。
公开/授权文献
- CN102534507A 用于真空蒸发源的喷射器 公开/授权日:2012-07-04
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