- 专利标题: 一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing large-size molybdenum plates for sputtering targets of liquid crystal display (LCD) flat-panel displays
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申请号: CN201210038873.2申请日: 2012-02-21
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公开(公告)号: CN102534519B公开(公告)日: 2013-06-12
- 发明人: 邓自南 , 淡新国 , 郭让民 , 侯军涛 , 李明强 , 郭磊 , 丁旭 , 张清 , 李辉 , 吕利强 , 马宏旺
- 申请人: 西安瑞福莱钨钼有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号
- 专利权人: 西安瑞福莱钨钼有限公司
- 当前专利权人: 西安瑞福莱钨钼有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段15号
- 代理机构: 西安创知专利事务所
- 代理商 谭文琰
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C22F1/18
摘要:
本发明公开了一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法,该方法为:1)在常规方法压制和烧结的钼板坯表面均匀涂刷抗氧化涂层;2)将涂刷有抗氧化涂层的钼板坯用钢包套包覆;3)对包覆有钢包套的钼板坯进行一火次的轧制,然后置于冷床上冷却;4)将冷却后的钼板坯轧制至厚度为19mm~24mm(含钢包套);5)将轧制的钼板坯进行校平处理,去除钢包套,切割,得到半成品钼板;6)将半成品钼板进行真空热处理,得到LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板。采用本发明的方法制备的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板板面平整,密度不小于10.15g/cm3,显微组织为均匀等轴晶组织,平均晶粒尺寸不大于200μm。
公开/授权文献
- CN102534519A 一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法 公开/授权日:2012-07-04