一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法
摘要:
本发明公开了一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法,该方法为:1)在常规方法压制和烧结的钼板坯表面均匀涂刷抗氧化涂层;2)将涂刷有抗氧化涂层的钼板坯用钢包套包覆;3)对包覆有钢包套的钼板坯进行一火次的轧制,然后置于冷床上冷却;4)将冷却后的钼板坯轧制至厚度为19mm~24mm(含钢包套);5)将轧制的钼板坯进行校平处理,去除钢包套,切割,得到半成品钼板;6)将半成品钼板进行真空热处理,得到LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板。采用本发明的方法制备的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板板面平整,密度不小于10.15g/cm3,显微组织为均匀等轴晶组织,平均晶粒尺寸不大于200μm。
0/0