发明公开
- 专利标题: 基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器及其制备方法
- 专利标题(英): Cascaded optical fiber F-P micro-cavity temperature sensor based on scale effect and manufacturing method thereof
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申请号: CN201210011637.1申请日: 2012-01-16
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公开(公告)号: CN102539013A公开(公告)日: 2012-07-04
- 发明人: 张小贝 , 李金龙 , 殷赵辉 , 王文辕 , 庞拂飞 , 刘云启 , 王廷云
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 代理机构: 上海上大专利事务所
- 代理商 陆聪明
- 主分类号: G01K11/32
- IPC分类号: G01K11/32
摘要:
本发明提出一种基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器及其制备方法。该温度传感器包括一根单模光纤和在其内部的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜,所述第一反射镜和所述第二反射镜形成第一F-P微腔,所述第二反射镜和所述第三反射镜形成第二F-P微腔;一种基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器的制备方法,通过计算机控制,采用飞秒脉冲激光微加工技术,用于制备该温度传感器。本传感器通过标尺效应提高了干涉条纹的对比度,而且同时增大了干涉条纹的自由光谱范围,从而实现高分辨率和大范围的温度测量,并改进工艺以实现低损耗和高性能传感特性,这将在大型系统故障监控和健康监测等领域有广泛的应用前景。