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延迟器的制造方法
摘要:
本发明涉及一种延迟器的制造方法。一种制造图案化的延迟器的方法包括以下步骤:通过向基板施加延迟器材料来形成延迟器材料层;在第一温度下对所述延迟器材料层进行干燥;用线性偏振UV对所述延迟器材料层进行曝光,其中所述延迟器材料层具有所述光学各向异性特性;以及在高于所述第一温度的第二温度下对所述延迟器材料层进行热处理,以增加所述延迟器材料层的所述所述光学各向异性特性。
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