发明授权
- 专利标题： 更新校准数据的方法和器件制造方法
- 专利标题（英）： Method of updating calibration data and a device manufacturing method
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申请号： CN201110418114.4申请日： 2011-12-14
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公开(公告)号： CN102540784B公开(公告)日： 2014-08-27
- 发明人: F·范德马斯特 , 恩格尔伯塔斯·安东尼纳斯·弗朗西丝克斯·范德帕斯奇
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴敬莲
- 优先权： 61/425,081 2010.12.20 US
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00 ; G03F7/20
摘要：
本发明涉及一种更新校准数据的方法和器件制造方法。一种用于更新第一位置检测系统的校准数据的方法，所述第一位置检测系统适合于确定物体的位置，所述第一位置检测系统包括目标和多个传感器，所述目标和所述传感器中的一者被安装到所述物体上，所述校准数据包括表观测量位置与实际位置的关联系数，所述系数能够被用于将所述表观测量位置转换成所述实际位置，由此校正所述第一位置检测系统的物理缺陷和能够根据所述表观测量位置确定所述实际位置。
公开/授权文献
- CN102540784A 更新校准数据的方法和器件制造方法 公开/授权日：2012-07-04
