发明授权
- 专利标题: N型双面电池的双面扩散方法
- 专利标题(英): Double-surface diffusion method of N-type double-surface cell
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申请号: CN201210043317.4申请日: 2012-02-24
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公开(公告)号: CN102544236B公开(公告)日: 2014-01-15
- 发明人: 蔡文浩
- 申请人: 常州天合光能有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
- 专利权人: 常州天合光能有限公司
- 当前专利权人: 天合光能有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
- 代理机构: 常州市维益专利事务所
- 代理商 王凌霄
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明涉及一种N型双面电池的双面扩散方法,该方法首先在N型硅衬底的上表面通过第一次扩散工艺在N型硅衬底的一面形成n+层或p+层后,然后通过LPCVD双面沉积SiN薄膜;接着在已经形成扩散层的上表面通过PECVD的方法单面沉积SiO2薄膜;之后利用热磷酸去除下表面的SiN薄膜;接着对硅片进行清洗后完成对下表面的扩散。本发明利用高致密度的LPCVD SiN作为扩散阻挡层实现N型电池的双面扩散,避免了传统工艺中采用热氧化SiO2薄膜作为扩散阻挡层时所经历的高温过程,保证一次扩散曲线及硅衬底的杂质浓度不变,实现了N型双面电池良好的电接触性能,并有效降低电池的体复合速率。
公开/授权文献
- CN102544236A N型双面电池的双面扩散方法 公开/授权日:2012-07-04
IPC分类: