- 专利标题: X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序
- 专利标题(英): X-ray position measuring device, position measuring method of the device, and position measuring program for the device
-
申请号: CN201110318863.X申请日: 2011-10-19
-
公开(公告)号: CN102564360A公开(公告)日: 2012-07-11
- 发明人: 樫村恒夫 , 阿须贺拓
- 申请人: 精工精密有限公司
- 申请人地址: 日本国千叶县习志野市
- 专利权人: 精工精密有限公司
- 当前专利权人: 精工创时有限公司
- 当前专利权人地址: 日本国千叶县习志野市
- 代理机构: 上海市华诚律师事务所
- 代理商 杨暄
- 优先权: 2010-234971 2010.10.19 JP
- 主分类号: G01B15/00
- IPC分类号: G01B15/00
摘要:
本发明提供一种能够在不增加成本的前提下实现高精度位置测量的X射线位置测量装置。X射线位置测量装置10包括使X射线发射器10a与X射线照相机10b向在测量对象上进行位置测量的位置移动的第1移动单元;用于在进行位置测量的位置,对图像显示部中的基准位置与第2X射线投影图像的位置之间的位置偏移量进行测量,同时将位置偏移量作为对应于该测量位置的补正量,存储在存储部的第1测量存储单元;用于使X射线发射器10a和X射线照相机10b向进行位置测量的位置移动的第2移动单元;以及用于在进行位置测量的位置,根据所述补正量使X射线发射器10a的发射中心与X射线照相机10b的光轴一致,同时进行测量对象的位置测量的第1位置测量单元。
公开/授权文献
- CN102564360B X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序 公开/授权日:2016-01-27