Invention Grant
- Patent Title: 一种标记期望位置确定方法
- Patent Title (English): Method for determining marked expected position
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Application No.: CN201010619057.1Application Date: 2010-12-28
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Publication No.: CN102566337BPublication Date: 2014-05-21
- Inventor: 韩悦 , 李运锋
- Applicant: 上海微电子装备有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
- Assignee: 上海微电子装备有限公司
- Current Assignee: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
- Agency: 北京连和连知识产权代理有限公司
- Agent 王光辉
- Main IPC: G03F9/00
- IPC: G03F9/00 ; G03F7/20
Abstract:
一种用于基于独立的多个不同波长对准装置的标记最佳扫描位置确定方法，在确定扫描方向、光源波长后，获得同波长下大周期多重相关系数MCCB和中周期多重相关系数MCCM，根据MCC值判断是否需要重新查找，再根据MCC值和阈值的大小关系判断是否需要在扫描方向和垂直扫描方向上进行位置调整，最终得到最佳扫描位置。
Public/Granted literature
- CN102566337A 一种标记期望位置确定方法 Public/Granted day:2012-07-11
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