成型模、光学元件及成型模的制造方法
摘要:
本发明提供一种成型模,其即使在进行形状误差为1.0μm以下的精密成型的情况下,也可以可靠地将成型模的形状转印于成型物。该成型模的特征在于,具备玻璃基板、在玻璃基板上所形成的一个或多个树脂模、覆盖上述玻璃基板和上述树脂模的无机氧化物膜,上述树脂模为光固化性树脂制,对于波长365nm的光的光透过率为20%以上,且具有邵氏D为30~90的硬度,上述无机氧化物膜被脱模处理。
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