本发明提供了一种二次电子装置，所述二次电子装置被用于中和离子注入过程中离子束所携带的正电荷。所述二次电子装置包括二次电子发射器、悬空挡板以及电压源，其中所述电子发射器和所述悬空挡板被布置使得所述离子束从所述电子发射器与所述悬空挡板之间通过到达接受离子注入的晶片，所述悬空挡板与离子束系统保持绝缘，并且其中所述电压源的负极连接至所述二次电子发射器，而所述电压源的正极连接至所述悬空挡板。使用本发明所提供的二次电子装置使二次电子更充分地穿越离子束，从而在离子注入过程中取得更好的中和效果，使得离子被更好地注入晶片。