发明公开
- 专利标题: 相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法
- 专利标题(英): Gating diode array of phase-change memory and preparation method thereof
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申请号: CN201110033252.0申请日: 2011-01-30
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公开(公告)号: CN102623484A公开(公告)日: 2012-08-01
- 发明人: 李宜瑾 , 宋志棠 , 凌云 , 刘燕 , 刘波 , 龚岳峰 , 张超 , 吴关平 , 杨左娅
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 李仪萍
- 主分类号: H01L27/24
- IPC分类号: H01L27/24 ; H01L21/822
摘要:
一种相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法,所述制备方法包括:在P型半导体衬底表面进行离子注入,退火生成重掺杂的N型半导体层;在重掺杂的N型半导体层的表面进行外延生长,形成本征半导体层;进行刻蚀工艺以形成用于隔离字线的第一沟槽;在第一沟槽内进行沉积以形成作为相邻字线之间隔离的第一隔离层;再进行刻蚀工艺以形成第二沟槽;在第二沟槽内进行沉积以形成第二隔离层;在本征半导体层内进行离子注入以形成选通二极管;字线的宽度至少为选通二极管的宽度的一倍以上;形成位于字线之上的字线引出电极。相较于现有技术,本发明可以提高选通二极管驱动电流以及降低串扰电流,确保存储器读写操作的一致性和稳定性。
公开/授权文献
- CN102623484B 相变存储器的选通二极管阵列及其制备方法 公开/授权日:2014-09-17
IPC分类: