发明授权
- 专利标题: 集成电路换向装置
- 专利标题(英): Reversing device for integrated circuit
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申请号: CN201210075709.9申请日: 2012-03-20
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公开(公告)号: CN102633107B公开(公告)日: 2015-01-28
- 发明人: 王维 , 韩笑 , 叶键波
- 申请人: 杭州长川科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市滨江区滨安路1180号华业高科技产业园3号楼6楼
- 专利权人: 杭州长川科技有限公司
- 当前专利权人: 杭州长川科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市滨江区滨安路1180号华业高科技产业园3号楼6楼
- 代理机构: 杭州杭诚专利事务所有限公司
- 代理商 尉伟敏
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; B65G47/74 ; B65G47/24
摘要:
本发明涉及集成电路制造设备领域,目的是提供一种使集成电路进入料管的方向不变,多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序的流水作业的集成电路换向装置。一种集成电路换向装置包括安装座、旋转座、旋转驱动机构、设有与旋转座的外周匹配的圆弧面的弧形挡板、出料管道和暂存管道;旋转座与安装座枢接;出料管道、弧形挡板和暂存管道分别与安装座固定连接;所述的旋转驱动机构分别与安装座和旋转座固定连接。该集成电路换向装置使集成电路进入料管的方向不变,多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序流水作业的集成电路换向装置。
公开/授权文献
- CN102633107A 集成电路换向装置 公开/授权日:2012-08-15
IPC分类: