集成电路换向装置
摘要:
本发明涉及集成电路制造设备领域,目的是提供一种使集成电路进入料管的方向不变,多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序的流水作业的集成电路换向装置。一种集成电路换向装置包括安装座、旋转座、旋转驱动机构、设有与旋转座的外周匹配的圆弧面的弧形挡板、出料管道和暂存管道;旋转座与安装座枢接;出料管道、弧形挡板和暂存管道分别与安装座固定连接;所述的旋转驱动机构分别与安装座和旋转座固定连接。该集成电路换向装置使集成电路进入料管的方向不变,多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序流水作业的集成电路换向装置。
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