任意槽形光栅结构的全息曝光装置及其曝光方法
摘要:
本发明揭示了一种任意槽形光栅结构的全息曝光装置及其曝光方法,所述装置包括激光器、主分束镜;激光器发射的光束经过主分束镜分为若干束光路,每束光路均经过一子曝光单元。子曝光单元包括可调光衰减器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、第一准直扩束镜、第二准直扩束镜、旋转平台、压电陶瓷及驱动器、显微物镜组、CCD接收器及驱动电路、数据采集卡和计算机。本发明采用傅里叶分解的思想,实现任意槽形光栅的全息法制作。装置中设有CCD,能够实时地反映干涉条纹的振动漂移情况,并以此驱动压电陶瓷,实现干涉条纹的锁定,避免条纹抖动对长时间曝光的影响,同时根据扩束后的干涉条纹信息精确控制各组干涉条纹的位相,实现多组干涉条纹的匹配叠加。
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