本发明公开了一种对外延片进行退火合金的装置及方法，涉及半导体外延片的退火合金技术，用于解决现有技术存在的效率低、退火合金后产品质量劣化的问题，本发明的技术方案为：在所述导热板上包括供介质通过的通道，导热板上的通道包括介质的进口和出口；两端均设有阀门的介质加热装置与两端均设有阀门的介质冷却装置的两端并接，它们与介质泵串接连通，介质泵与导热板上的通道串接连通；当介质加热装置关闭与介质冷却装置之一开启，介质泵推动介质流动，形成介质闭路循环。本发明可以实现外延片的快速降温，提高效率，并提高外延片的质量。本发明的方法和设备适合于半导体外延片的退火、合金等工艺。