阻气性膜、装置以及阻气性膜的制造方法
Abstract:
本发明提供阻气性优异的阻气性膜、使用该阻气性膜的装置、该阻气性膜的制造方法。阻气性膜(1)含有所含的低聚物量为1质量%以下的塑料膜(2)、在塑料膜(2)上设置的有机层(3)、和在有机层(3)上设置的无机层(4),有机层(3)的厚度比塑料膜表面的最大高低差大。由此能够提供阻气性优异的阻气性膜(1)。
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