Invention Grant
- Patent Title: 用于生产硅的反应器和方法
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Application No.: CN201080053022.4Application Date: 2010-11-25
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Publication No.: CN102639438BPublication Date: 2016-04-13
- Inventor: 约瑟夫·菲尔特维特 , 沃纳·O·菲尔特维特 , 阿韦·霍尔特
- Applicant: 戴纳泰克工程有限公司
- Applicant Address: 挪威阿希姆
- Assignee: 戴纳泰克工程有限公司
- Current Assignee: 戴纳泰克工程有限公司
- Current Assignee Address: 挪威阿希姆
- Agency: 北京安信方达知识产权代理有限公司
- Agent 杨洲; 郑霞
- Priority: 20093411 2009.11.25 NO; 20100210 2010.02.11 NO
- International Application: PCT/NO2010/000431 2010.11.25
- International Announcement: WO2011/065839 EN 2011.06.03
- Date entered country: 2012-05-23
- Main IPC: C01B33/027
- IPC: C01B33/027
Abstract:
用于生产硅的反应器，该反应器包括反应器容积件，该反应器是独特的，因为该反应器包括或可操作地布置到用于将化学气相沉积(CVD)用的含硅反应气体设置成在反应器容积件内旋转的至少一个装置。用于生产硅的方法。
Public/Granted literature
- CN102639438A 用于生产硅的反应器和方法 Public/Granted day:2012-08-15
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IPC分类:
