- 专利标题： 具有包括运动挠性装置的支撑工作台的扫描探针显微镜
- 专利标题（英）： Scanning probe microscope having support stage incorporating a kinematic flexure arrangement
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申请号： CN201080055160.6申请日： 2010-10-29
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公开(公告)号： CN102640007B公开(公告)日： 2015-05-13
- 发明人: 卡尔·马瑟
- 申请人： 布鲁克纳米公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 布鲁克纳米公司
- 当前专利权人： 布鲁克纳米公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 吴焕芳; 田军锋
- 优先权： 61/256,073 2009.10.29 US
- 国际申请： PCT/US2010/054691 2010.10.29
- 国际公布： WO2011/059809 EN 2011.05.19
- 进入国家日期： 2012-06-05
- 主分类号： G01Q10/00
- IPC分类号： G01Q10/00 ; G01Q30/00
摘要：
扫描探针显微镜(SPM)(200)具有基于压电致动器的管式扫描器(12)，所述扫描器上附接有探针(14)并且所述扫描器可以通过对压电管施加电压而在三个平面内运动。一组挠性部(40)随着所述管的位移挠曲，附接至所述挠性部的应变计(74，76，78，80)用来测量所述挠性部的挠曲从而在扫描物体期间提供关于所述管的位移的反馈信息。所述应变计和挠性部形成这样一种运动感测框架或装置，其中对每个自由度提供单独的约束并且其中所述约束至少基本上互相正交。
公开/授权文献
- CN102640007A 具有包括运动挠性装置的支撑工作台的扫描探针显微镜 公开/授权日：2012-08-15