交指型电极结构及其形成方法
摘要:
电极结构,具有一个层,该层具有至少两个交指型材料,第一材料是导电材料,并且第二材料是离子性传导材料,所述材料都以流体形式共面地位于一个膜上,所述交指型材料中的至少一个形成一个具有大于1的纵横比的特征。形成电极结构的方法,包括:在第一方向上将导电材料流和第二材料流合并成第一组合流;在第二方向上分割第一组合流,以产生至少两个分离流,每个分离流包括导电材料流和第二材料流;将这两个分离流合并成第二组合流;根据需求重复进行流的合并和分割,以产生最终组合流;以及,将最终组合流作为流体形式的交指型结构沉积在衬底上,以使得所述材料中的至少一个在该结构中形成具有一个大于1的纵横比的特征。
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