发明公开
- 专利标题: 具有活动部分和偏置的传感器
- 专利标题(英): Sensor with movable part and biasing sensor
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申请号: CN201210043553.6申请日: 2012-02-24
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公开(公告)号: CN102650533A公开(公告)日: 2012-08-29
- 发明人: J.L.塞巴洛斯 , C.B.武尔青格
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 马永利; 卢江
- 优先权: 13/035896 2011.02.25 US
- 主分类号: G01D5/241
- IPC分类号: G01D5/241 ; H04R19/04
摘要:
本发明公开了具有活动部分和偏置的传感器。提供方法和设备,其中利用至少两个不同电压来交替地偏置包括至少两个电极和活动部分的传感器。
公开/授权文献
- CN102650533B 具有活动部分和偏置的传感器 公开/授权日:2017-04-26
IPC分类: