超导化合物用基板及其制造方法
摘要:
本发明的课题是提供一种超导化合物用基板及其制造方法,其能够与铜的高取向的同时实现优异的附着强度。作为解决课题的手段,其特征在于,对以90%以上的压下率加工的铜箔的表面进行溅射蚀刻,除去表面的附着物,对非磁性的金属板进行溅射蚀刻,利用轧辊将所述铜箔和所述金属板进行加压接合,对所述接合的层叠体进行加热,使所述铜进行结晶取向,同时,使所述铜在所述金属板中热扩散10nm以上,在所述层叠体的铜表面上层叠保护层。
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