一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构
摘要:
本发明涉及开门式晶体生长设备,旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路,在进气回路上设电磁阀,通过信号线与控制单元相连;气缸固定于气缸座上,气缸座固定于晶体生长设备的壁上;气缸座内设置滑块,滑块的一端与气缸的轴相连,另一端是密封端;滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应,且各设密封面;每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分,两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候,锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构,保证设备密封性和安全性,并为整体系统控制提供检测的数据信号,在提高生产效率的同时,保证安全性,实现产业化。
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