发明授权
- 专利标题: 一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构
- 专利标题(英): Automatic locking mechanism for opening door type crystal growth equipment
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申请号: CN201210111583.6申请日: 2012-04-15
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公开(公告)号: CN102677153B公开(公告)日: 2015-07-08
- 发明人: 曹建伟 , 欧阳鹏根 , 傅林坚 , 石刚 , 陈明杰 , 王丹涛 , 蒋庆良 , 邱敏秀
- 申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 代理机构: 杭州中成专利事务所有限公司
- 代理商 金祺
- 主分类号: C30B13/30
- IPC分类号: C30B13/30
摘要:
本发明涉及开门式晶体生长设备,旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路,在进气回路上设电磁阀,通过信号线与控制单元相连;气缸固定于气缸座上,气缸座固定于晶体生长设备的壁上;气缸座内设置滑块,滑块的一端与气缸的轴相连,另一端是密封端;滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应,且各设密封面;每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分,两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候,锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构,保证设备密封性和安全性,并为整体系统控制提供检测的数据信号,在提高生产效率的同时,保证安全性,实现产业化。
公开/授权文献
- CN102677153A 一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构 公开/授权日:2012-09-19
IPC分类: