- 专利标题: 一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台
- 专利标题(英): High-precision x-ray microscope sample scanning table with metering rotary shaft
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申请号: CN201210200993.8申请日: 2012-06-18
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公开(公告)号: CN102692421B公开(公告)日: 2014-07-23
- 发明人: 须颖 , 董友
- 申请人: 天津三英精密仪器有限公司
- 申请人地址: 天津市东丽经济开发区一经路1号105-17室
- 专利权人: 天津三英精密仪器有限公司
- 当前专利权人: 天津三英精密仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址: 天津市东丽经济开发区一经路1号105-17室
- 主分类号: G01N23/04
- IPC分类号: G01N23/04
摘要:
本发明公开了一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台,扫描转台(2)安装在固定底座(1)上,固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置,驱动扫描转台(2)转动,扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6),固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3),传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9),根据各传感器测量误差的大小,可采用主动修正控制方法对扫描转台(2)进行误差修正,也可采用数学算法在三维图像重构过程中对跳动误差进行修正,即可减小或消除由转台转轴的位置误差精度而导致扫描图像失真问题。
公开/授权文献
- CN102692421A 一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台 公开/授权日:2012-09-26