发明公开
CN102692815A 光掩模及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光掩模及其制造方法
- 专利标题(英): Photomask and method for manufacturing same
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申请号: CN201210162265.2申请日: 2012-05-23
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公开(公告)号: CN102692815A公开(公告)日: 2012-09-26
- 发明人: 叶冬 , 徐亮
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 欧阳启明
- 主分类号: G03F1/46
- IPC分类号: G03F1/46 ; G03F1/48
摘要:
本发明提供一种光掩模及其制造方法,光掩模的制造方法包括:形成不透光图案层于基板上;形成覆盖于所述不透光图案层及所述基板上的保护层;以及形成覆盖在所述保护层上的减反射层,且所述保护层的折射率是大于所述减反射层的折射率。本发明可改善现有光掩模的基板反射问题。
公开/授权文献
- CN102692815B 光掩模及其制造方法 公开/授权日:2014-05-21