发明公开

光掩模及其制造方法
摘要:
本发明提供一种光掩模及其制造方法,光掩模的制造方法包括:形成不透光图案层于基板上;形成覆盖于所述不透光图案层及所述基板上的保护层;以及形成覆盖在所述保护层上的减反射层,且所述保护层的折射率是大于所述减反射层的折射率。本发明可改善现有光掩模的基板反射问题。
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