发明授权
- 专利标题: 图像传感器与晶体管的制作方法
- 专利标题(英): Image sensor and manufacturing method of transistor
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申请号: CN201210179855.6申请日: 2012-06-01
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公开(公告)号: CN102709302B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: 赵立新 , 李文强 , 蒋珂玮
- 申请人: 格科微电子(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11楼
- 专利权人: 格科微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人: 格科微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区盛夏路560弄2号楼11楼
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L29/808 ; H01L21/337
摘要:
本发明公开了一种图像传感器与晶体管制作方法。图像传感器包括像素阵列,像素阵列的一个或多个像素单元包括一个源跟随晶体管。源跟随晶体管是结型场效应晶体管,包括:第一导电类型衬底;第二导电类型阱,位于第一导电类型衬底中;第二导电类型淀积掺杂层,位于第一导电类型衬底表面外并至少部分位于第二导电类型阱上;第一导电类型源区,位于第二导电类型阱中;第一导电类型漏区,位于第一导电类型衬底中和/或第二导电类型阱中;第一导电类型掺杂层,至少部分位于第二导电类型阱与第二导电类型淀积掺杂层之间,以使得第一导电类型源区与第一导电类型漏区电连接,并在其与第二导电类型阱之间以及其与第二导电类型淀积掺杂层之间分别形成PN结。
公开/授权文献
- CN102709302A 图像传感器与晶体管的制作方法 公开/授权日:2012-10-03
IPC分类: