本发明公开了一种基于微机械硅基固支梁的相位检测器及检测方法，该相位检测器包括硅衬底（1），生长在硅衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，第一固支梁锚区（61），第二固支梁锚区（62），栅极（5），设置在在该栅极（5）上方且与栅极（5）相对的固支梁（7）。检测方法包括如下步骤：当在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）分上加载直流偏置时，固支梁（7）被下拉且与栅极（5）接触，两个频率相同而存在一定相位差的微波信号同时加载到栅极（5）上；漏极（3）饱和电流经处理滤去高频信号，得到相位差信息的电流信号。本发明结构简单，易于测量。