发明授权
- 专利标题： 直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法
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申请号： CN201210189351.2申请日： 2012-06-08
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公开(公告)号： CN102736449B公开(公告)日： 2014-10-15
- 发明人: 陈勇 , 陈修涛 , 张爱民
- 申请人： 合肥芯硕半导体有限公司
- 申请人地址： 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号
- 专利权人： 合肥芯硕半导体有限公司
- 当前专利权人： 中夏芯基(上海)科技有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号
- 代理机构： 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
- 代理商 余成俊
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明公开了一种在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，每次读取N×N位图数据，以字为单位，同时进行N行位图数据进行压缩，压缩后数据依次为行起始标志、压缩后的数量、位图数据或位图压缩数据，位图压缩数据和起始标志是不会出现的N×N位图。本发明的压缩方法简单，速度快；压缩数据后的数据在传输中可以用行方式传输，速度宜控制。
公开/授权文献
- CN102736449A 直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法 公开/授权日：2012-10-17
IPC分类:
