用于减少圆形装置中的箔褶皱的组件和方法
Abstract:
本发明涉及用在电子束装置中的托板(22)和出射窗箔(20)的组件,所述托板(22)被设计为减少所述箔(20)中的褶皱,这些褶皱可能由于在装配过程中出现过剩的箔而产生。沿着连续的结合线(26)将所述箔(20)结合到所述托板(22)上,连续的结合线(26)围成大体上圆形的区域,在该区域内,所述托板(22)设置有孔和箔支承部分,以及在该区域内,所述箔适于作为所述电子束装置的真空密封外壳的壁的一部分。本发明还涉及在填充机中使用所述组件的方法,以及减少褶皱的方法。
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