发明授权
CN102744234B 一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法
- 专利标题（英）： Cleaning method capable of improving surface quality of K9 glass substrate
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申请号： CN201110099168.9申请日： 2011-04-20
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公开(公告)号： CN102744234B公开(公告)日： 2014-07-16
- 发明人: 叶晓雯 , 丁涛 , 沈正祥 , 程鑫彬 , 马彬 , 焦宏飞 , 张锦龙 , 王占山
- 申请人： 同济大学
- 申请人地址： 上海市杨浦区四平路1239号
- 专利权人： 同济大学
- 当前专利权人： 同济大学
- 当前专利权人地址： 上海市杨浦区四平路1239号
- 代理机构： 上海科盛知识产权代理有限公司
- 代理商 林君如
- 主分类号： B08B11/04
- IPC分类号： B08B11/04 ; B08B3/08
摘要：
本发明涉及一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，先通过酸性溶液去除K9玻璃表面的金属污染，然后通过碱性溶液去除颗粒和有机物污染，清洗过程结合去离子水漂洗，以降低离子在表面的浓度和除去清洗溶剂分子或离子。与现有技术相比，本发明在达到较高清洗效率、有效去除污染物的同时，对K9玻璃基底的表面刻蚀作用减轻到一个极低的程度，表面粗糙度大大减小，有利于提高薄膜的反射率。
公开/授权文献
- CN102744234A 一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法 公开/授权日：2012-10-24
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