一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法,将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体,再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材,然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜,所得到的导电薄膜具有高的折射率,在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度,减小光在界面处的反射,进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜,操作简单,适于规模生产,具有良好的太阳电池及光电应用前景。
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