发明公开
- 专利标题: 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法
- 专利标题(英): Zinc-oxide-based transparent conductive film and preparation method thereof
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申请号: CN201210172083.3申请日: 2012-07-30
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公开(公告)号: CN102747334A公开(公告)日: 2012-10-24
- 发明人: 宋伟杰 , 魏铁峰 , 杨晔 , 张贤鹏 , 黄金华 , 兰品军 , 朱科
- 申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人: 宁波森利电子材料有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理商 刘诚午
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/08
摘要:
本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法,将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体,再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材,然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜,所得到的导电薄膜具有高的折射率,在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度,减小光在界面处的反射,进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜,操作简单,适于规模生产,具有良好的太阳电池及光电应用前景。
公开/授权文献
- CN102747334B 一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 公开/授权日:2014-03-12
IPC分类: