发明授权
CN102751201B 功率模块用基板的制造方法及功率模块用基板
失效 - 权利终止
- 专利标题: 功率模块用基板的制造方法及功率模块用基板
-
申请号: CN201210118770.7申请日: 2012-04-20
-
公开(公告)号: CN102751201B公开(公告)日: 2016-11-16
- 发明人: 大井宗太郎
- 申请人: 三菱综合材料株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人: 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 齐葵; 王诚华
- 优先权: 2011-093788 2011.04.20 JP; 2011-175282 2011.08.10 JP
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48 ; H01L23/12
摘要:
本发明提供一种功率模块用基板的制造方法及功率模块用基板,该功率模块用基板能够多层层叠陶瓷基板与金属板,并使陶瓷基板两侧的金属板成为连接状态,并且难以产生陶瓷基板与金属板之间的剥离或陶瓷基板的裂纹等。在层叠陶瓷基板(2)及金属板(4A、4C、4D、5A、6)时,向陶瓷基板(2)的贯穿孔(11)内插入长于贯穿孔(11)的柱状金属部件(12),在接合陶瓷基板及金属板时,加压金属部件(12)使其塑性变形,以在金属部件(12)与贯穿孔(11)的内周面之间形成有间隙的状态,通过金属部件(12)使陶瓷基板(2)两侧的金属板(5A、4A、4D)成为连接状态。
公开/授权文献
- CN102751201A 功率模块用基板的制造方法及功率模块用基板 公开/授权日:2012-10-24
IPC分类: