本发明涉及一种触摸屏用复合薄膜及其制造方法。该复合薄膜包括依次层叠设置的硬涂层、复合基材、SiOx层、SiO2层及ITO层，其中，x的范围是1.0～1.9。通过在PET基材与SiO2层之间增加SiOx层过渡层，由于SiOx层中存在一定的Si-悬键，该Si-悬键能与复合基材表面的C-H或C-OH键形成C-Si或C-O-Si共价键，从而增强SiO2层和ITO层在复合基材上的附着力，且对复合基材脱气的要求大大降低，脱气处理的时间变短，生产效率提高。同时因为SiOx层和SiO2层能起到对基材的覆盖作用，阻挡了复合基材中水分对ITO镀膜的影响，保证ITO电阻的稳定性。