- 专利标题: 基于蓝宝石剥离的薄膜GaN芯片的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing film gallium nitride (GaN) chip based on sapphire stripping
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申请号: CN201110132454.0申请日: 2011-05-19
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公开(公告)号: CN102790139A公开(公告)日: 2012-11-21
- 发明人: 朱浩 , 曲晓东 , 赵汉民 , 闫占彪 , 刘硕 , 陈栋
- 申请人: 易美芯光(北京)科技有限公司 , 晶能光电(江西)有限公司
- 申请人地址: 北京市亦庄经济技术开发区科创十四街99号汇龙森科技园2号楼4层
- 专利权人: 易美芯光(北京)科技有限公司,晶能光电(江西)有限公司
- 当前专利权人: 易美芯光(北京)科技有限公司,晶能光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 101111 北京市亦庄经济技术开发区科创十四街99号汇龙森科技园2号楼4层
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L21/78
摘要:
本发明公开了一种基于蓝宝石剥离的薄膜GaN芯片的制造方法,涉及半导体发光器件的制备工艺,该方法能解决在剥离蓝宝石衬底过程中导致的外延薄膜破裂的问题。该制造方法包括以下步骤:刻蚀蓝宝石衬底上的外延层;在刻蚀的外延层上制备反射层材料,并进行合金;与永久支撑基板键合;在永久支撑基板的另一侧采用树脂与第二基板进行固化;激光剥离蓝宝石衬底;剥离后去除第二基板和树脂,第二基板也可在激光剥离前去掉。本发明可以使GaN薄膜芯片的成品率提高。
公开/授权文献
- CN102790139B 基于蓝宝石剥离的薄膜GaN芯片的制造方法 公开/授权日:2016-12-14
IPC分类: