基于蓝宝石剥离的薄膜GaN芯片的制造方法
摘要:
本发明公开了一种基于蓝宝石剥离的薄膜GaN芯片的制造方法,涉及半导体发光器件的制备工艺,该方法能解决在剥离蓝宝石衬底过程中导致的外延薄膜破裂的问题。该制造方法包括以下步骤:刻蚀蓝宝石衬底上的外延层;在刻蚀的外延层上制备反射层材料,并进行合金;与永久支撑基板键合;在永久支撑基板的另一侧采用树脂与第二基板进行固化;激光剥离蓝宝石衬底;剥离后去除第二基板和树脂,第二基板也可在激光剥离前去掉。本发明可以使GaN薄膜芯片的成品率提高。
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