利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN102803109A 用于带状片材基板的搬送装置及处理装置 有权

  • 专利标题： 用于带状片材基板的搬送装置及处理装置
  • 专利标题（英）： Processing device and transfer device for a strip-shaped sheet substrate
  • 申请号： CN201180008588.X
    申请日： 2011-02-10
  • 公开(公告)号： CN102803109A
    公开(公告)日： 2012-11-28
  • 发明人: 铃木智也
  • 申请人： 株式会社尼康
  • 申请人地址： 日本东京都
  • 专利权人： 株式会社尼康
  • 当前专利权人： 株式会社尼康
  • 当前专利权人地址： 日本东京都
  • 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
  • 代理商 任默闻
  • 优先权： 61/303,988 2010.02.12 US; 61/303,983 2010.02.12 US
  • 国际申请： PCT/JP2011/052871 2011.02.10
  • 国际公布： WO2011/099562 JA 2011.08.18
  • 进入国家日期： 2012-08-07
  • 主分类号： B65H23/038
  • IPC分类号： B65H23/038 ;  B65H23/32
用于带状片材基板的搬送装置及处理装置
摘要：
本发明提供一种搬送装置，其中，搬运装置包括：第一导引滚筒(G1)及第二导引滚筒(G2)。带状片材基板（FB）即树脂薄膜或箔(膜)，是藉由以第一导引滚筒(G1)被斜向弯折并反转，亦藉由第二导引滚筒(G2)被斜向弯折并反转。根据基板(FB)上的对准标记(AM)的对准摄影机(51)进行的检测，调整机构(52、53)是使导引滚筒(G1、G2)位移或倾斜。该位移(平行移动)或倾斜是将第一及第二导引滚筒(G1、G2)之间的基板(FB)往横截方向移动。处理装置(10)是于基板(FB)的面(FP)上形成有机EL元件。替代导引滚筒(G1、G2)可使用圆锥(G3、G4)。可附加第三导引滚筒(G23)或圆锥(G27)。进而可附加第四导引滚筒(G24)或圆锥(G28)。导引滚筒及圆锥并不接触于基板(FB)的被处理面(Fp)。且基板(FB)向横截方向移动时，于基板(FB)并未产生皱折。
摘要（英）：

The invention provides a transfer device and a processing device for a strip-shaped sheet substrate, wherein the transfer device is provided with a first guide roller (G1) and a second guide roller (G2). A strip-shaped sheet substrate (FB), i.e. a resin film or foil, is turned over via diagonal folding by the first guide roller (G1) and turned over again via diagonal folding by the second guide roller (G2). An alignment camera (51) detects alignment marks (AM) on the substrate (FB), and on the basis thereof, adjustment mechanisms (52 and 53) shift or tilt the guide rollers (G1 and G2). This shifting (parallel movement) or tilting moves the substrate (FB) sideways between the first and second guide rollers (G1 and G2). A processing device (10) forms organic EL elements on a surface (Fp) of the substrate (FB). Circular cones (G3 and G4) may be used instead of the guide rollers (G1 and G2). A third guide roller (G23) or circular cone (G27) may be added. A fourth guide roller (G24) or circular cone (G28) may also be added. The guide rollers and circular cones do not touch the surface (Fp) of the substrate (FB) which is processed. Wrinkles do not form in the substrate (FB) during the aforementioned sideways movement of the substrate (FB).

公开/授权文献
0/0