发明授权
CN102822391B 用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物
- 专利标题（英）： Copper and titanium composition for metal layer etching solution
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申请号： CN201180016453.8申请日： 2011-04-28
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公开(公告)号： CN102822391B公开(公告)日： 2014-12-10
- 发明人: 林玟基 , 权五柄 , 李喻珍 , 刘仁浩
- 申请人： 东友精细化工有限公司
- 申请人地址： 韩国全罗北道
- 专利权人： 东友精细化工有限公司
- 当前专利权人： 东友精细化工有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国全罗北道
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 孟桂超; 张颖玲
- 优先权： 10-2010-0040568 2010.04.30 KR
- 国际申请： PCT/KR2011/003172 2011.04.28
- 国际公布： WO2011/136594 KO 2011.11.03
- 进入国家日期： 2012-09-27
- 主分类号： C23F1/18
- IPC分类号： C23F1/18 ; C23F1/30 ; H01L21/205
摘要：
本发明提供一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，基于组合物的总量，包含：5wt％～20wt％的过硫酸盐；0.01wt％～2wt％的氟化合物；1wt％～10wt％的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种；0.3wt％～5wt％的环状胺化合物；0.1wt％～5wt％的氯化合物；0.1wt％～5wt％的对甲苯磺酸；及其余为水。
公开/授权文献
- CN102822391A 用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物 公开/授权日：2012-12-12
IPC分类:
