本发明提供的一种电致变色薄膜、电致变色器件及其制作方法，涉及显示技术领域，能够制备出各个区域透过率差异小的电致变色器件，使得该电致变色器件的显示效果良好。该电致变色器件包括相对设置的第一衬底和第二衬底，设置于所述第一衬底内侧的第一透明导电层，设置于所述第二衬底内侧的第二透明导电层，还包括：设置于所述第一透明导电层与第二透明导电层之间的有机-无机电致变色薄膜，所述有机-无机电致变色薄膜是通过在所述第一透明导电层上形成网状的微球膜，以及在所述微球膜的间隙形成无机电致变色膜后，去除所述微球膜，并令所述无机电致变色膜与有机电致变色溶液发生聚合反应后制成的。