发明公开
CN102859382A 集成式磁力计及其制造方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 集成式磁力计及其制造方法
- 专利标题(英): Integrated magnetometer and its manufacturing process
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申请号: CN201180007571.2申请日: 2011-01-28
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公开(公告)号: CN102859382A公开(公告)日: 2013-01-02
- 发明人: 阿兰·舒尔 , 吉勒斯·高登 , 菲利普·萨邦 , 皮埃尔-让·泽尔马顿 , 弗朗索瓦·蒙田
- 申请人: 国家科学研究中心 , 原子能与替代能源委员会
- 申请人地址: 法国巴黎
- 专利权人: 国家科学研究中心,原子能与替代能源委员会
- 当前专利权人: 国家科学研究中心,原子能与替代能源委员会
- 当前专利权人地址: 法国巴黎
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 黄志华
- 优先权: 1000369 2010.01.29 FR
- 国际申请: PCT/FR2011/000058 2011.01.28
- 国际公布: WO2011/092406 FR 2011.08.04
- 进入国家日期: 2012-07-27
- 主分类号: G01R33/00
- IPC分类号: G01R33/00 ; G01R33/02 ; G01R33/09
摘要:
一种集成式磁力计,所述磁力计包括多个沉积在基本平坦的衬底表面上的多个多层磁电阻传感器,所述表面称为顶面,其特征在于:所述衬底的所述顶面具有至少一个具有多个斜面的腔或凸起,并且至少四个所述磁电阻传感器置于所述四个斜面上,所述斜面具有不同的取向且彼此成对相对,各传感器对外部磁场的一个分量灵敏,所述外部磁场分量平行于各传感器所置于的面。还提供了一种用于制造这样磁力计的方法。