发明授权
CN102863220B 低温共烧制备银电极的PZT基压电陶瓷厚膜材料的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 低温共烧制备银电极的PZT基压电陶瓷厚膜材料的方法
- 专利标题(英): Method for preparing PZT-based piezoelectric ceramic thick film material of silver electrode through low-temperature cofiring
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申请号: CN201210349973.7申请日: 2012-09-18
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公开(公告)号: CN102863220B公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: 马卫兵 , 白洋 , 孙清池 , 葛琴雯 , 刘志华
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 张宏祥
- 主分类号: C04B35/622
- IPC分类号: C04B35/622 ; C04B35/472 ; C03C12/00 ; H01L41/273 ; H01L41/047 ; H01L41/187
摘要:
本发明公开了一种低温共烧制备银电极的PZT基压电陶瓷厚膜材料的方法,压电浆料以PZT基体系配方为基础,按Pb(Zr0.52Ti0.48)O3、Pb0.99Sb0.01(Zr0.52Ti0.48)O3或者0.25Pb(Zn1/3Nb2/3)-0.75Pb0.95La0.05(Zr0.53Ti0.47)0.9875O3的化学计量比称取原料,以市售银浆为电极材料,采用丝网印刷技术进行电极和压电厚膜层的制备,采用825~850°C低温共烧技术进行烧结,通过合成工艺、排胶工艺和极化制度的调整和改进来制备在同等厚度下具有较高d33值和较低介电损耗的压电厚膜材料。本发明的成分及工艺步骤简单、易于操作、重复性好、成品率高。本发明主要应用于微型压电换能器和微位移器等。
公开/授权文献
- CN102863220A 低温共烧制备银电极的PZT基压电陶瓷厚膜材料的方法 公开/授权日:2013-01-09