发明授权
CN102866065B 连续加压装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 连续加压装置
- 专利标题(英): Continuous pressurizing device
-
申请号: CN201210332942.0申请日: 2012-09-10
-
公开(公告)号: CN102866065B公开(公告)日: 2014-07-30
- 发明人: 武雪飞 , 丁琨 , 窦秀明 , 孙宝权
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋焰琴
- 主分类号: G01N3/18
- IPC分类号: G01N3/18 ; G01N3/02
摘要:
本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于圆筒(6)内;滑块(3),设置于圆筒(6)内,压设于压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于圆筒(6)内,压设于滑块(3)的上表面。本发明可以对测试样品连续、精确地加压。
公开/授权文献
- CN102866065A 连续加压装置 公开/授权日:2013-01-09