本发明涉及一种透明导电薄膜的制备方法，特别涉及一种共掺杂透明导电薄膜的制备方法。其目的在于提供一种新的掺杂方式，以获得具有优良光电性能的透明导电薄膜，使其得到更好利用。本发明的目的是采用下述技术方案实现的：一种共掺杂透明导电薄膜的制备方法，它包括以下步骤：A）前处理；B）溶胶配制：配制浓度为0.25-2.5mol/L的溶胶；C）旋涂镀膜：将前处理后的载玻片放置于匀胶机的载物台上，把陈化好的溶胶滴加在玻璃衬底上，旋转，烘干；D）热处理。本发明的有益效果是：采用溶胶-凝胶法制备ZnO基薄膜，利用Al3+和Ga3+的共掺杂，获得一种新的具有优良光电性能的透明导电薄膜。