药剂分配器装置的制造方法
摘要:
根据本发明,提供了一种处理药剂分配器装置的部件的方法,所述部件具有一个或多个在所述装置的存放或使用期间与所述药剂接触的表面,所述方法包括以下步骤:提供所述部件;以及通过等离子体沉积涂布所述表面中的至少一个,以由此抑制所述药剂的表面沉积或降解,其中所述等离子体沉积的至少一部分在DC偏压控制下进行。
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