发明授权
CN102889925B 基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法
- 专利标题（英）： Self-power supply vibration sensor based on ZnO nanowires and manufacturing method thereof
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申请号： CN201110207775.2申请日： 2011-07-22
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公开(公告)号： CN102889925B公开(公告)日： 2015-06-24
- 发明人: 王中林 , 于爱芳 , 江鹏
- 申请人： 国家纳米科学中心
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村北一条11号
- 专利权人： 国家纳米科学中心
- 当前专利权人： 国家纳米科学中心
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村北一条11号
- 代理机构： 北京泛华伟业知识产权代理有限公司
- 代理商 王勇
- 主分类号： G01H11/06
- IPC分类号： G01H11/06
摘要：
本发明提供一种自供电振动传感器，包括：悬臂梁；悬臂梁上的自供电振动传感器元件，其中自供电振动传感器元件包括：上电极和下电极；上电极和下电极之间的介电层；多条具有压电效应的纳米结构，位于介电层中，所述纳米结构与上电极和下电极绝缘，并与上电极或下电极大致平行。本发明还提供了一种自供电振动传感器装置和自供电振动传感器的制造方法。
公开/授权文献
- CN102889925A 基于ZnO纳米线的自供电振动传感器及其制造方法 公开/授权日：2013-01-23