发明授权
- 专利标题: 用于制造半导体的设备和方法
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申请号: CN201210256773.7申请日: 2012-07-23
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公开(公告)号: CN102891098B公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: 行森美昭 , 曹廷镐 , 安根植
- 申请人: 韩华泰科株式会社
- 申请人地址: 韩国庆尚南道昌原市
- 专利权人: 韩华泰科株式会社
- 当前专利权人: 韩华航空航天公司
- 当前专利权人地址: 韩国庆尚南道昌原市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 韩明星
- 优先权: 2011-160984 2011.07.22 JP 10-2012-0034225 2012.04.03 KR
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68
摘要:
本发明公开了一种用于制造半导体的设备和方法,该设备包括:晶片盒,附着到所述设备的主体或从所述设备的主体分离;晶片载体,容纳在晶片盒中,且当半导体晶片放置在晶片载体上时,保留了关于所述多个半导体芯片的信息的条形码附着到晶片载体;缓冲单元,包括缓冲台和条形码读取器,并执行用于调节晶片载体的方向的对齐操作,晶片载体放置在缓冲台上,缓冲台能够旋转,条形码读取器读取所述条形码;XYθ台,在XYθ台上,半导体晶片运动到半导体芯片的拾取位置;安装机构,用于将半导体芯片安装在目标上。
公开/授权文献
- CN102891098A 用于制造半导体的设备和方法 公开/授权日:2013-01-23
IPC分类: