用于制造半导体的设备和方法
摘要:
本发明公开了一种用于制造半导体的设备和方法,该设备包括:晶片盒,附着到所述设备的主体或从所述设备的主体分离;晶片载体,容纳在晶片盒中,且当半导体晶片放置在晶片载体上时,保留了关于所述多个半导体芯片的信息的条形码附着到晶片载体;缓冲单元,包括缓冲台和条形码读取器,并执行用于调节晶片载体的方向的对齐操作,晶片载体放置在缓冲台上,缓冲台能够旋转,条形码读取器读取所述条形码;XYθ台,在XYθ台上,半导体晶片运动到半导体芯片的拾取位置;安装机构,用于将半导体芯片安装在目标上。
公开/授权文献
0/0