叠层的等离子体致动器
摘要:
本发明公开一种方法和设备,该设备可以包括第一数量的柔性材料层,第二数量的介电材料层,连接于该第一数量的层的表面层的第一电极,和连接于该第一数量的层和第二数量的层的其中之一中的第二层的第二电极。该第一数量的层与第二数量的层间布;该第一电极和第二电极可以被构造成响应电压形成等离子体。
公开/授权文献
0/0