本发明涉及一种双胺基硅烷的制备及其副产物的处理工艺，属化工技术领域。本发明采用滴加氯丙基硅烷的反应方式，不仅降低了能耗，还缩短了反应时间。同时通过对副产物乙二胺盐酸盐进行处理，降低了生产成本，减少了环境污染，解决了现有副产物乙二胺盐酸盐采用强碱溶液蒸馏处理不能作为原料重复使用；以及采用醇钠处理不但成本高，而且作为原料重复使用后使得产品收率降低的问题。本发明不仅提高了产品收率，同时副产物经处理可重复使用，适合工业化生产，具有较高的经济效果和环保效果。