用于对准光学元件的基于MEMS的杠杆及其使用
摘要:
本发明涉及一种基于将光学组件安装在释放的微机械杠杆配置上的基于MEMS的对准技术,所述释放的微机械杠杆配置使用多个挠曲件而非单个弹簧。所述光学组件可为透镜。多个挠曲件的所述使用可减少透镜旋转与透镜平移之间的耦合,且减少杠杆手柄翘曲对透镜位置的影响。可针对各种几何形状来优化装置。
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