本发明提出一种金属氧化物试品在陡前沿脉冲下响应特性测试装置，包括陡波前沿电流脉冲产生装置，用于产生陡波前沿电流波形；测试仪器，用于测量试品的电流、电压波形；在陡波前沿电流脉冲产生装置构成的回路中接入试品，通过直流电源对陡波前沿电流脉冲产生装置中的两个电容器充电使三电极开关击穿，以测试金属氧化物试品在陡前沿脉冲下响应特性。该测试装置由于采用电容、开关一体化结构，减小了回路电感，由于采用铜带紧凑包裹电容器的机构，是回路电感减小至最低，保证了足够的电流幅值和陡峭的上升沿，随着陡波前沿电流的增大，陡波下的阀片残压有明显提高。