发明授权
- 专利标题: 微机械磁场传感器及其应用
- 专利标题(英): Micromechanical magnetic field sensor and application thereof
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申请号: CN201210469660.5申请日: 2012-11-19
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公开(公告)号: CN102914749B公开(公告)日: 2014-11-26
- 发明人: 熊斌 , 吴国强 , 徐德辉 , 王跃林
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 李仪萍
- 主分类号: G01R33/028
- IPC分类号: G01R33/028
摘要:
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用,所述微机械磁场传感器至少包括:谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小,其中,构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模式,各该谐振振子结构上的金属线圈环绕方向相反,两个谐振振子结构上的金属线圈产生的感应电动势相互并联;由于驱动信号是差分信号,消除输出信号中的容性耦合信号,以获得单纯的磁场输出信号;同时,本发明利用耦合结构将两个谐振振子结构耦合起来使两个谐振振子结构连接为一体运动;进一步,本发明结构简单,受温度影响小,输出信号大,灵敏度高,检测的准确度高,适合高工作频率。
公开/授权文献
- CN102914749A 微机械磁场传感器及其应用 公开/授权日:2013-02-06