发明授权
CN102931137B LTPS-TFT阵列基板及其制造方法、显示装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： LTPS-TFT阵列基板及其制造方法、显示装置
- 专利标题（英）： LTPS-TFT (Low Temperature Poly Silicon-Thin Film Transistor) array substrate and manufacture method thereof, and display device
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申请号： CN201210404310.0申请日： 2012-10-22
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公开(公告)号： CN102931137B公开(公告)日： 2015-01-28
- 发明人: 张方振
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静; 赵爱军
- 主分类号： H01L21/77
- IPC分类号： H01L21/77 ; G02F1/1362 ; G02F1/1368
摘要：
本发明提供一种LTPS-TFT阵列基板及其制造方法、显示装置，属于液晶显示领域。其中，该LTPS-TFT阵列基板的制造方法采用一次构图工艺同时形成所述阵列基板的像素电极和半导体层，所述半导体层为采用多晶硅，同时减少掺杂Mask。本发明的技术方案能够简化LTPS-TFT阵列基板的制作工艺，降低LTPS-TFT阵列基板的制造成本。
公开/授权文献
- CN102931137A LTPS-TFT阵列基板及其制造方法、显示装置 公开/授权日：2013-02-13
IPC分类:
