由电致发光半导体晶片测试预测LED参数的方法和设备
摘要:
本发明涉及一种由电致发光半导体晶片测试预测LED参数的方法和设备。利用在晶片级所采取的二极管模型和导电探针测量来预测由该晶片制造的半导体器件的特征参数。将表示作为电阻、理想因子、和反向饱和电流的函数的电流‑电压关系的电流‑电压曲线(I‑V)模型拟合到多个导电探针测量数据。然后,通过从(I‑V)模型减去由拟合该(I‑V)模型产生的电阻乘以电流的积来估算器件的电流‑电压曲线(I‑Vd)。
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